使用470監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體濕式工作臺(tái)中的溶解臭氧濃度

臭氧是一種多功能氧化劑，通常用于半導(dǎo)體濕式工作臺(tái)的清潔，顆粒和光刻膠去除。在這些應(yīng)用中使用臭氧有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)，包括:減少有害化學(xué)品的使用，如氫氟酸，更大限度地減少在上述過(guò)程中使用的典型化學(xué)廢物，提高清潔和效率。隨著半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)復(fù)雜性的增加，臭氧的使用將繼續(xù)在這些晶圓的制造過(guò)程中發(fā)揮重要作用。為了充分發(fā)揮其潛在優(yōu)勢(shì)，重要的是能夠測(cè)量過(guò)程中存在或注入的臭氧濃度。因此，需要在線(xiàn)臭氧濃度監(jiān)測(cè)器來(lái)仔細(xì)控制液體中溶解臭氧的量。

Teledyne API (TAPI) 470溶解臭氧分析儀非常適合這一要求，因?yàn)樗脑O(shè)計(jì)考慮到了半導(dǎo)體市場(chǎng)的需求。

圖1:470型溶解臭氧分析儀

直列式傳感器

470的設(shè)計(jì)是一種直列式傳感器，只需很少的維護(hù)，可以無(wú)縫集成到濕式工作臺(tái)系統(tǒng)中。

在線(xiàn)監(jiān)測(cè)溶解臭氧濃度是首選的測(cè)量方法，而不是滑動(dòng)流或側(cè)流監(jiān)測(cè)?；屏骰騻?cè)流監(jiān)測(cè)需要額外的閥門(mén)、管道和傳感器，這些閥門(mén)、管道和傳感器可能會(huì)在濕式實(shí)驗(yàn)臺(tái)系統(tǒng)中故障或產(chǎn)生其他問(wèn)題，例如接收到的濃度測(cè)量不能代表工藝液體。通過(guò)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)，您總能獲得工藝液體中溶解臭氧濃度的真實(shí)測(cè)量值。監(jiān)視器也可以很容易地拼接到現(xiàn)有系統(tǒng)中。由于濕式工作臺(tái)臭氧包括工藝需要特定水平的臭氧，因此使用在線(xiàn)傳感器非常重要。圖2顯示了帶有臭氧發(fā)生器和監(jiān)視器的半導(dǎo)體濕式工作臺(tái)示例。

圖2:帶TAPI臭氧儀器的濕式實(shí)驗(yàn)臺(tái)系統(tǒng)

零維護(hù)

由于其創(chuàng)新的傳感技術(shù)，470不需要維護(hù)，以保持傳感器運(yùn)行在更佳性能。在濕式工作臺(tái)系統(tǒng)的定期預(yù)防性維護(hù)期間，每2-3年可以對(duì)傳感器和UV燈進(jìn)行周期性調(diào)零。還包括吹掃端口，以避免電子設(shè)備所在區(qū)域內(nèi)的冷凝，以幫助確保傳感器在濕式工作臺(tái)的壽命內(nèi)運(yùn)行。

輕松集成

為了集成到濕式工作臺(tái)系統(tǒng)中，470提供了幾種輸出方法，可以直接連接到PLC, PC或集成設(shè)備。如果首選模擬輸出，在購(gòu)買(mǎi)時(shí)可以選擇0-5V dc或4- 20ma輸出。對(duì)于需要數(shù)字接口的系統(tǒng)，470可以通過(guò)RS232或RS485進(jìn)行通信。470還可以連接到TAPI的SCI-552，以增強(qiáng)或創(chuàng)建完整的臭氧傳輸系統(tǒng)。四個(gè)額外的數(shù)字狀態(tài)輸出包括:傳感器正常狀態(tài)，無(wú)效讀數(shù)，燈低和電池臟。

通過(guò)多種通信方式，更少的維護(hù)和在線(xiàn)設(shè)計(jì)，470是增強(qiáng)濕式工作臺(tái)系統(tǒng)的完美選擇，具有溶解臭氧的所有優(yōu)點(diǎn)。請(qǐng)記住，臭氧可以幫助減少或省略有害化學(xué)物質(zhì)的使用，節(jié)省處理和處理它們所需的時(shí)間和金錢(qián)。臭氧還可以增強(qiáng)濕法工藝，與硫酸或氫氟酸相比，臭氧對(duì)環(huán)境更友好。